„Fotolitográfia” változatai közötti eltérés
| [ellenőrzött változat] | [ellenőrzött változat] |
Tartalom törölve Tartalom hozzáadva
→Lépései: részletek bőv |
→Források: még két jó forrás |
||
55. sor:
=== Szakkönyvek ===
* {{cite book |last=Chang|first=C. Y.|title=ULSI technology|publisher=McGraw-Hill|publication-place=New York|year=1996|isbn=978-0-07-063062-8|ref=harv}}
* {{cite book|last=Bucknall|first=David|title=Nanolithography and patterning techniques in microelectronics|publisher=Woodhead Pub. CRC Press|publication-place=Cambridge Boca Raton, FL|year=2005|isbn=978-1-84569-090-8|ref=harv}}
* {{CitLib|szerző=Thomas Ihn|cím=Semiconductor Nanostructures|alcím=Quantum states and electronic transport|hely=Oxford|kiadó=Oxford University Press|év=2009|isbn=ISBN 9780199534432}}
* {{cite book|last=Okoroanyanwu|first=Uzodinma|title=Chemistry and lithography|publisher=SPIE|publication-place=Bellingham, Wash|year=2010|isbn=978-0-8194-7562-6|ref=harv}}
* {{cite book |last=Waser|first=Rainer|title=Nanoelectronics and information technology : advanced electronic materials and novel devices|publisher=Wiley-VCH|publication-place=Weinheim|year=2012|isbn=978-3-527-40927-3|ref=harv}}
* {{cite book|last=Madou|first=Marc|title=Fundamentals of microfabrication and nanotechnology|publisher=CRC Press|publication-place=Boca Raton, FL|year=2012|isbn=978-1-4200-5519-1|ref=harv}}
| |||