„Fotolitográfia” változatai közötti eltérés
| [ellenőrzött változat] | [ellenőrzött változat] |
Tartalom törölve Tartalom hozzáadva
→Források: még két jó forrás |
|||
63. sor:
=== Tananyagok, ismeretterjesztő weblapok ===
* {{Cite web|url=http://fizipedia.bme.hu/index.php/V%C3%A9konyr%C3%A9teg_lev%C3%A1laszt%C3%A1s|title=Vékonyréteg leválasztás - Fizipedia|accessdate=2017-12-08|work=fizipedia.bme.hu}}
* {{Cite web|url=http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html|title=The Basics of Microlithography|accessdate=2017-12-08|last=Mack|first=Chris|work=www.lithoguru.com|language=en}}
* {{Cite web|url=http://users.wfu.edu/ucerkb/Nan242/L15-Photolithography.pdf|title=Photolithography lecture notes|accessdate=2017-12-08|author=Dr. R. B. Darling}}
| |||