„Kémiai gőzfázisú leválasztás” változatai közötti eltérés
| [nem ellenőrzött változat] | [nem ellenőrzött változat] |
Tartalom törölve Tartalom hozzáadva
→Típusai: bőv |
|||
22. sor:
* [[Hibrid fizikai-kémiai gőzfázisú leválasztás]] (''Hybrid Physical-Chemical Vapor Deposition, HPCVD'')
* [[Atomi rétegleválasztás]] (''ALCVD'', illetve az általánosabb ''ALD'')
* Fémorganikus CVD (''metalorganic CVD, MOCVD''){{h|Szepes|o=4}}
* Fotoindukált CVD (''Photo-initiated CVD'', PICVD): e módszer során a hordozón végbemenő kémiai reakciókat [[Ibolyántúli sugárzás|ultraibolyafénnyel]] segítik.{{h|Szepes|o=3}}
| |||