„Fotolitográfia” változatai közötti eltérés

Nagyobb vastagságú minta esetén számottevő hatást jelenthet a [[mélységélesség]]ből adódó pontatlanság. A kis mélységélesség azt jelenti, hogy a pókuszpontfókuszpont körül kis magasságban lesz a levilágítás leképezése éles, azaz a fókuszsíkhoz képest túl mélyen vagy túl magasan levő síkokban a maszk leképezett mintázata elmosódik.<ref name=":0" />