„Fotolitográfia” változatai közötti eltérés
| [ellenőrzött változat] | [ellenőrzött változat] |
Tartalom törölve Tartalom hozzáadva
→Az elektronikában: navoszlop |
navoszlop kép |
||
2. sor:
==Az elektronikában==
{{Nanotechnológia navoszlop/Nanolitográfia|kép=Photolithography process.png}}
Egy olyan [[elektronika]]i gyártási eljárás, melyet főleg a [[félvezető]]iparban, mikroelektronikában használnak, például [[mikroprocesszor]]ok gyártására. Az eljárás segítségével rendkívül kis méretű elektronikus [[áramkör]]ök készíthetők: az így készült vezetők vastagsága mindössze néhány tíz [[nanométer]]; ez az úgynevezett „csíkszélesség”. Minimális csíkszélességnek nevezzük a kialakítható legkisebb alakzat méretét ez az ún. MFS (Minimal Feature Size). Az MFS kezdetekkor 15-20 μm volt, ma 0,1 μm vagy kevesebb.
| |||