„Fotolitográfia” változatai közötti eltérés
| [ellenőrzött változat] | [ellenőrzött változat] |
Tartalom törölve Tartalom hozzáadva
Szöveg aktualizálása, korrektúra |
|||
39. sor:
==Források==
=== Szakkönyvek ===
* {{cite book|last=Bucknall|first=David|title=Nanolithography and patterning techniques in microelectronics|publisher=Woodhead Pub. CRC Press|publication-place=Cambridge Boca Raton, FL|year=2005|isbn=978-1-84569-090-8|ref=harv}}
* {{CitLib|szerző=Thomas Ihn|cím=Semiconductor Nanostructures|alcím=Quantum states and electronic transport|hely=Oxford|kiadó=Oxford University Press|év=2009|isbn=ISBN 9780199534432}}
* {{cite book|last=Okoroanyanwu|first=Uzodinma|title=Chemistry and lithography|publisher=SPIE|publication-place=Bellingham, Wash|year=2010|isbn=978-0-8194-7562-6|ref=harv}}
* {{cite book|last=Madou|first=Marc|title=Fundamentals of microfabrication and nanotechnology|publisher=CRC Press|publication-place=Boca Raton, FL|year=2012|isbn=978-1-4200-5519-1|ref=harv}}
=== Tananyagok, ismeretterjesztő weblapok ===
* {{Cite web|url=http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html|title=The Basics of Microlithography|accessdate=2017-12-08|last=Mack|first=Chris|work=www.lithoguru.com|language=en}}
* {{Cite web|url=http://users.wfu.edu/ucerkb/Nan242/L15-Photolithography.pdf|title=Photolithography lecture notes|accessdate=2017-12-08|author=Dr. R. B. Darling}}
* {{Cite web|url=http://www.circuitstoday.com/photolithography|title=Photolithography|accessdate=2017-12-08|date=2010-05-31|work=Circuits Today}}
{{Portál|Fizika}}
[[Kategória:Elektronika]]
[[Kategória:Optika]]
[[Kategória:
| |||