„Kémiai gőzfázisú leválasztás” változatai közötti eltérés
| [nem ellenőrzött változat] | [nem ellenőrzött változat] |
Tartalom törölve Tartalom hozzáadva
Nincs szerkesztési összefoglaló |
Nincs szerkesztési összefoglaló |
||
1. sor:
{{Nanotechnológia navoszlop/Nanolitográfia|kép=PICT0111.JPG}}A '''kémiai gőzfázisú leválasztás''' (angol rövidítéssel '''CVD''', ''chemical vapor deposition'') a [[vékonyréteg-leválasztás]]<ref group="m">A magyar rétegleválasztás szakkifejezés gyakran félreértésre ad okot: a leválasztás itt a mintadarab felületére történik, azaz a réteg épülésével jár, nem pedig onnan egy réteg eltávolításával.</ref> egy lehetséges módszere, amelyet [[vékonyréteg]]ek kialakítására alkalmaznak a [[mikrotechnológia|mikro]]- és a [[nanotechnológia|nanotechnológiában]]. A CVD-módszerek általános jellemzője az, hogy egy [[kémiai reaktor]]ba gázfázisban juttatott anyag kémiai reakció eredményeképpen egy hordozó felületére válik le, melyen rétegbevonatot képez.
A CVD során a felületen [[adszorpció|adszorbeálódott]] atomok reakcióba lépnek, mely lehet például [[pirolízis]],{{h|Szepes|o=2}} [[oxidáció]], [[reduckió]], [[hidrolízis]] stb. A kiinduló anyagok atomjainak reakciója következtében létrejövő egyes termékek alakítják ki a felületi réteget, míg más reakciótermékeket elszívással eltávolítanak.{{h|Fizipédia}}
==Megjegyzések==
14. sor:
* {{Cite web|url=http://titan.physx.u-szeged.hu/tamop411c/public_html/HU%20-%20Optikai%20alapok%20az%20ELI-ALPS%20t%C3%BCkr%C3%A9ben%20I.%20-%20Msc%20(e-learning)/kmiai_gzfzis_levlaszts_cvd.html|title=Kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) {{!}} Bevezetés|accessdate=2018-04-26|work=titan.physx.u-szeged.hu|language=hu}}
* {{href|Fizipédia|{{Cite web|url=http://fizipedia.bme.hu/index.php/V%C3%A9konyr%C3%A9teg_lev%C3%A1laszt%C3%
* {{Cite web|url=http://www.cnc.hu/2012/08/szerszam-bevonatolasi-eljarasok/|title=Szerszám bevonatolási eljárások: PVD és CVD {{!}} CNC|accessdate=2018-04-26|work=www.cnc.hu|language=hu-HU}}
* {{href|Szepes|{{Cite web|url=http://szepes.web.elte.hu/FOKLAB2011_10.pdf|title=X. Kémiai gőzfázisú rétegleválasztás (CVD). Króm-karbid keménybevonat előállítása|accessdate=2018-04-26|author=Szepes László|publisher=ELTE TTK Kémiai Intézet}}}}
| |||